1月31日，世界級刻蝕巨頭——中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司發(fā)布2022年度業(yè)績預(yù)告。在79歲的尹志堯先生帶領(lǐng)下，中微公司因主打產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備是除光刻機(jī)外最關(guān)鍵、工藝難度最高的半導(dǎo)體前道加工設(shè)備，在國際最先進(jìn)的 5nm芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上均實現(xiàn)了多次批量銷售，且疫情時期“封控不停產(chǎn)，營運零感染”，2022年營收和新簽訂單金額均同比增長50%以上，繼續(xù)為我國芯片制造業(yè)奠定中國底氣。
尹志堯先生的祖父尹壽松是我校首屆畢業(yè)生。尹壽松（1881-1938年），字秀峰，桐城人，開明人士，在桐城學(xué)堂開辦初入校就讀，后去日本學(xué)習(xí)鐵道工程技術(shù)。1915年-1919年任懷德縣知事。1920年-1924年任梨樹縣知事期間， 勘驗民地，治理河溝，修筑橋梁，方便交通；為抵制日本帝國主義經(jīng)濟(jì)侵略，扶持發(fā)展民族工商業(yè)；發(fā)起創(chuàng)辦苗圃、電燈。1925年調(diào)任熱河省政務(wù)廳長，為當(dāng)?shù)孛褡褰?jīng)濟(jì)發(fā)展做出重要貢獻(xiàn)。1936年就職于冀察政務(wù)委員會的外交委員會。1938年8月受抗戰(zhàn)名將馬占山之邀北上赴蒙旗參加抗戰(zhàn)，積極獻(xiàn)身于愛國民族解放事業(yè)。
尹志堯先生，1944年出生，1968年畢業(yè)于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)化學(xué)物理系，1980年前往美國加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校留學(xué)，并獲得物理化學(xué)博士學(xué)位。1983年以工程師身份供職于硅谷英特爾公司、英特爾中心研究開發(fā)部。1986年加入泛林集團(tuán)（LAM），僅花了5年時間，就帶領(lǐng)其成為全球最大的刻蝕機(jī)公司，后入職應(yīng)用材料公司（AMAT）。
尹志堯小時候就被祖父和父親言傳身受，耳濡目染，對祖國有著濃厚感情，懷著一腔愛國之心和積累的經(jīng)驗知識，毫不留戀在當(dāng)時發(fā)展強(qiáng)勁的異國他鄉(xiāng)，在事業(yè)上升期毅然決然地回國創(chuàng)業(yè)。2004年，60歲的尹志堯決定辭去AMAT副總裁職務(wù)回國，美國謹(jǐn)慎搜查，確保他沒有攜帶相關(guān)資料才允許他回國?；貒螅麕ьI(lǐng)自己的15人團(tuán)隊，利用了自己的技術(shù)、人脈、管理能力，結(jié)合中國的資金和市場，在上海創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)，發(fā)明國產(chǎn)刻蝕機(jī)，沖破美國技術(shù)壟斷，逐漸成長為世界級刻蝕巨頭。2007年，中微公司制造出了中國第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)，功能不輸于國外同類產(chǎn)品，打破國外刻蝕機(jī)壟斷時代。2015年，美國撤掉針對中國的刻蝕機(jī)設(shè)備出口控制。2018年，中微公司率先突破5nm刻蝕技術(shù)，在業(yè)界引發(fā)轟動。2021年4月，尹志堯在楊瀾訪談錄節(jié)目《逐風(fēng)者》中透露，中微公司3nm刻蝕機(jī)Alpha原型機(jī)的設(shè)計、制造、測試及初步的工藝開發(fā)和評估等系列工作已完成，“我們的刻蝕機(jī)其實已經(jīng)刻到一兩個原子這樣的準(zhǔn)確度”。
歸國后，尹志堯先生率領(lǐng)團(tuán)隊日夜兼程，苦拼十幾載，終于將中微公司推到了全球刻蝕設(shè)備五大供應(yīng)商之列，徹底填補(bǔ)了國產(chǎn)高端蝕刻設(shè)備的空白。截至2021年底，中微累計申請專利2012項，其中發(fā)明專利高達(dá)1741項，實用新型專利251項，其余專利20項，發(fā)明專利占比近90%，值得一提的是，僅尹志堯先生個人，就斬獲了400多項國內(nèi)外專利，一流的研發(fā)實力與智慧成果產(chǎn)出能力，成了中微乃至中國刻蝕領(lǐng)域最大的底氣。
尹志堯先生繼承了祖父勤奮務(wù)實、開拓進(jìn)取、胸懷天下的醇厚品質(zhì)，雖長在異鄉(xiāng)，但心系桑梓。2022年10月30日，尹志堯先生親臨我校120周年校慶慶典現(xiàn)場，并于慶典結(jié)束后，為師生作了一場精彩的演講。演講中，他深情地回顧了其祖父為革命為國家積極奔走，上下求索，波瀾壯闊的一生，生動地講述了集成電路和半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要性、發(fā)展趨勢及第三次工業(yè)革命，聆聽演講的師生興致勃勃，頗受震撼。演講結(jié)束后，尹先生鄭重地將中微公司生產(chǎn)的刻蝕機(jī)模型贈予我校校史館珍藏，并和師生合影留念。
尹志堯先生對國家的熱愛，對科技報國、勉成國器精神的傳承，值得我們每一位“桐中人”學(xué)習(xí)。
